सफा कोठामा तापक्रम र हावाको चाप नियन्त्रण

विशेष गरी धुवाँको मौसम बढ्दै जाँदा वातावरण संरक्षणमा बढी ध्यान दिइन्छ। सफा कोठा ईन्जिनियरिङ् पर्यावरण संरक्षण उपायहरु मध्ये एक हो। वातावरण संरक्षणमा राम्रो काम गर्न सफा कोठा इन्जिनियरिङ कसरी प्रयोग गर्ने? क्लिन रूम इन्जिनियरिङमा नियन्त्रणको बारेमा कुरा गरौं।

सफा कोठामा तापमान र आर्द्रता नियन्त्रण

सफा ठाउँहरूको तापक्रम र आर्द्रता मुख्यतया प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा निर्धारण गरिन्छ, तर प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्दा, मानव आरामलाई ध्यानमा राख्नुपर्छ। हावा सरसफाई आवश्यकताहरु को सुधार संग, प्रक्रिया मा तापमान र आर्द्रता को लागी कडा आवश्यकताहरु को एक प्रवृत्ति छ।

सामान्य सिद्धान्तको रूपमा, प्रशोधनको बढ्दो परिशुद्धताको कारण, तापमान उतार-चढ़ाव दायराका लागि आवश्यकताहरू साना र साना हुँदै गइरहेका छन्। उदाहरण को लागी, लिथोग्राफी र ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किट उत्पादन को एक्सपोजर प्रक्रिया मा, मास्क सामाग्री को रूप मा प्रयोग गिलास र सिलिकन वेफर्स को बीच थर्मल विस्तार गुणांक मा भिन्नता बढ्दो सानो हुँदै गइरहेको छ।

100 μm व्यास भएको सिलिकन वेफरले तापमान 1 डिग्रीले बढ्दा 0.24 μm को रेखीय विस्तार हुन्छ। तसर्थ, ± ०.१ ℃ को स्थिर तापमान आवश्यक छ, र आर्द्रता मान सामान्यतया कम छ किनभने पसिना पछि, उत्पादन दूषित हुनेछ, विशेष गरी अर्धचालक कार्यशालाहरूमा जुन सोडियमसँग डराउँछन्। यस प्रकारको कार्यशाला 25 ℃ भन्दा बढी हुनु हुँदैन।

अत्यधिक आर्द्रताले थप समस्याहरू निम्त्याउँछ। जब सापेक्षिक आर्द्रता 55% भन्दा बढी हुन्छ, कूलिंग पानीको पाइप भित्तामा संक्षेपण बन्नेछ। यदि यो सटीक उपकरण वा सर्किटहरूमा हुन्छ भने, यसले विभिन्न दुर्घटनाहरू निम्त्याउन सक्छ। जब सापेक्षिक आर्द्रता 50% छ, यो खिया गर्न सजिलो छ। थप रूपमा, जब आर्द्रता धेरै उच्च हुन्छ, सिलिकन वेफरको सतहमा रहेको धुलो रासायनिक रूपमा हावामा पानीको अणुहरू मार्फत सतहमा सोसिन्छ, जुन हटाउन गाह्रो हुन्छ।

सापेक्षिक आर्द्रता जति उच्च हुन्छ, आसंजन हटाउन गाह्रो हुन्छ। यद्यपि, जब सापेक्षिक आर्द्रता 30% भन्दा कम हुन्छ, इलेक्ट्रोस्ट्याटिक बलको कार्यको कारणले कणहरू पनि सतहमा सजिलै सोसिन्छन्, र ठूलो संख्यामा अर्धचालक यन्त्रहरू ब्रेकडाउनको सम्भावना हुन्छ। सिलिकन वेफर उत्पादनको लागि इष्टतम तापमान दायरा 35-45% हो।

हावाको चापनियन्त्रणसफा कोठामा 

धेरैजसो सफा ठाउँहरूको लागि, बाह्य प्रदूषणलाई आक्रमण गर्नबाट रोक्नको लागि, बाह्य दबाब (स्थिर दबाब) भन्दा आन्तरिक दबाब (स्थिर दबाव) कायम राख्न आवश्यक छ। दबाव भिन्नता को रखरखाव सामान्यतया निम्न सिद्धान्तहरु संग पालना गर्नुपर्छ:

1. सफा ठाउँहरूमा दबाब गैर सफा ठाउँहरूमा भन्दा बढी हुनुपर्छ।

2. उच्च सरसफाई स्तर भएका ठाउँहरूमा दबाब कम सरसफाइ स्तर भएको छेउछाउका ठाउँहरूमा भन्दा बढी हुनुपर्छ।

3. सफा कोठाहरू बीचको ढोकाहरू उच्च सरसफाइ स्तरहरू भएका कोठाहरूमा खोलिनुपर्छ।

दबाव भिन्नताको मर्मत ताजा हावाको मात्रामा निर्भर गर्दछ, जुन यो दबाव भिन्नता अन्तर्गत अन्तरबाट हावा चुहावटको लागि क्षतिपूर्ति गर्न सक्षम हुनुपर्दछ। त्यसैले दबाव भिन्नताको भौतिक अर्थ सफा कोठामा विभिन्न खाडलहरू मार्फत चुहावट (वा घुसपैठ) वायु प्रवाहको प्रतिरोध हो।