तापमान र स्वच्छ कोठामा एयर चाप नियन्त्रण

वातावरणीय संरक्षणलाई अधिक र अधिक ध्यान दिइन्छ, विशेष गरी मौसमको हार्जनको साथ। सफा कोठा ईन्जिनियरिंग वातावरणीय संरक्षण उपाय मध्ये एक हो। वातावरणीय संरक्षणको लागि राम्रो काम गर्न कसरी सफा कोठा इन्जिनियरिंग प्रयोग गर्ने? सफा कोठा इन्जिनियरि in मा नियन्त्रणको बारेमा कुरा गरौं।

तापक्रम र सफा कोठामा आर्द्रता नियन्त्रण

सफा स्थानहरूको तापक्रम र आर्द्रता मुख्यतया निर्धारित प्रक्रियामा आधारित निर्धारण गरिन्छ, तर जब प्रक्रियाको आवश्यकताहरू मिलाउँदछ। एयर सरसफाइ आवश्यकताहरूको सुधारको साथ, त्यहाँ तापमान र आर्द्रताको लागि कडा आवश्यकताहरूको चलन छ।

प्रसंस्करणको बढ्दो शुद्धताका कारण सामान्य सिद्धान्तको रूपमा, तापमान उभिदको किनार दायराका लागि आवश्यकताहरू साना र सानो हुँदै गइरहेका छन्। उदाहरण को लागी, झूटोग्राफी मा र ठूलो मास्क र सिलिकन वेफरहरु बीच प्रयोग गरिएको थर्मल विस्तार प्रक्रिया मा फरक बढ्दो सानो हुँदै गइरहेको छ।

एक सिलिकन वेफरको वेधर वेफरको साथ 100 एम मीटरले 0.24 को रेखीय विस्तार निम्त्याउँछ जब तापमान 1 डिग्री बढ्छ। तसर्थ, 1 ± 0.1 ℃ को निरन्तर तापक्रम आवश्यक छ, र आर्द्रता मूल्य सामान्यतया कम हुन्छ किनकि सोडियमदेखि डराउँछन् जुन सोडियमदेखि डराउँछन्। यस प्रकारको कार्यशालामा 25 ℃ भन्दा बढि हुनु हुँदैन।

अत्यधिक आर्द्रताले बढी समस्या निम्त्याउँछ। जब सापेक्ष आर्द्रता 55 55% भन्दा बढि, कूलि ing ्ग पानी पाइप भित्तामा गठन हुन्छ। यदि यो सटीक उपकरणहरू वा सर्किटमा हुन्छ भने, यसले विभिन्न दुर्घटनाहरू निम्त्याउन सक्छ। जब सापेक्ष आर्द्रता% 0% छ, यो खियातर्फ सजिलो छ। थप रूपमा, जब आर्द्रता धेरै छ, धुलो सिलिकन वेफरको सतहमा रसायनको रूपमा रसांजिंगलाई हावामा पानी अणुहरू पार गर्दछ, जुन हटाउन गाह्रो हुन्छ।

उच्चतम आर्द्रता उच्च, व्यक्तित्व हटाउने कडा हो। जहाँसम्म, जब, जब एक सापेक्ष आर्द्रता% 0% भन्दा कम छ, कणहरू इलेक्ट्रोस्टेटिक बल को कार्य को कारण सतह मा एडस्ट्रेड पनि छन्, र एक ठूलो संख्या को बिच्छुड को खतरामान छ। सिलिकन वेफरको लागि इष्टतम तापमान दायरा 35 35--4545% छ।

हावाको चापनियन्त्रणसफा कोठामा 

सबै सफा स्थानहरूको लागि आमन्त्रितबाट बाहिरी प्रदूषण रोक्न, बाह्य दबाव भन्दा उच्च आन्तरिक दबाव (स्थिर दबाव) को लागी यो आवश्यक छ (स्थिर दबाव)। दबाबको भिन्नता को रखरखाव सामान्यतया निम्न सिद्धान्तहरु पालना गर्नुपर्छ:

1 स्वच्छ खाली स्थानहरूमा दबाब भनेको गैर सफा गर्ने ठाउँहरूमा भन्दा माथि हुनुपर्दछ।

2। उच्च सफाई स्तरहरूको साथ खाली ठाउँहरूमा दबाब कम सफाई तहको साथ नजिक हुनुपर्दछ।

3 सफा कोठाको ढोका उच्च सफाई तहको साथ कोठातर्फ खोल्न हुनुपर्दछ।

दबाबको भिन्नताको मर्मत ताजा हावाको मात्रामा निर्भर गर्दछ, जुन यस दबाबको भिन्नता अन्तर्गत अन्तरबाट क्षतिपूर्ति दिन सक्षम हुनुपर्दछ। त्यसोभए दबाबको शारीरिक अर्थ चुहावट (वा घुसपैठन) सफा कोठामा विभिन्न खाली ठाउँहरूमा एयर प्रवाह हो।