वातावरणीय संरक्षणमा विशेष गरी धुवाँको मौसम बढ्दै जाँदा बढी ध्यान दिइन्छ। सफा कोठा इन्जिनियरिङ वातावरणीय संरक्षण उपायहरू मध्ये एक हो। वातावरणीय संरक्षणमा राम्रो काम गर्न सफा कोठा इन्जिनियरिङ कसरी प्रयोग गर्ने? सफा कोठा इन्जिनियरिङमा नियन्त्रणको बारेमा कुरा गरौं।
सफा कोठामा तापक्रम र आर्द्रता नियन्त्रण
सफा ठाउँहरूको तापक्रम र आर्द्रता मुख्यतया प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा निर्धारण गरिन्छ, तर प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्दा, मानव आरामलाई ध्यानमा राख्नुपर्छ। हावा सरसफाइ आवश्यकताहरूमा सुधारसँगै, प्रक्रियामा तापक्रम र आर्द्रताको लागि कडा आवश्यकताहरूको प्रवृत्ति छ।
सामान्य सिद्धान्तको रूपमा, प्रशोधनको बढ्दो परिशुद्धताको कारण, तापमान उतारचढाव दायराको आवश्यकताहरू साना र साना हुँदै गइरहेका छन्। उदाहरणका लागि, ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किट उत्पादनको लिथोग्राफी र एक्सपोजर प्रक्रियामा, मास्क सामग्रीको रूपमा प्रयोग हुने गिलास र सिलिकन वेफरहरू बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता बढ्दो रूपमा सानो हुँदै गइरहेको छ।
१०० μm व्यास भएको सिलिकन वेफरले तापक्रम १ डिग्रीले बढ्दा ०.२४ μm को रेखीय विस्तार निम्त्याउँछ। त्यसकारण, ± ०.१ ℃ को स्थिर तापक्रम आवश्यक छ, र आर्द्रता मान सामान्यतया कम हुन्छ किनभने पसिना आएपछि, उत्पादन दूषित हुनेछ, विशेष गरी अर्धचालक कार्यशालाहरूमा जुन सोडियमबाट डराउँछन्। यस प्रकारको कार्यशाला २५ ℃ भन्दा बढी हुनु हुँदैन।
अत्यधिक आर्द्रताले थप समस्याहरू निम्त्याउँछ। जब सापेक्षिक आर्द्रता ५५% भन्दा बढी हुन्छ, चिसो पानीको पाइपको भित्तामा संक्षेपण बन्छ। यदि यो सटीक उपकरणहरू वा सर्किटहरूमा हुन्छ भने, यसले विभिन्न दुर्घटनाहरू निम्त्याउन सक्छ। जब सापेक्षिक आर्द्रता ५०% हुन्छ, यसलाई खिया लाग्न सजिलो हुन्छ। थप रूपमा, जब आर्द्रता धेरै उच्च हुन्छ, सिलिकन वेफरको सतहमा टाँसिएको धुलो हावामा पानीका अणुहरू मार्फत सतहमा रासायनिक रूपमा सोसिनेछ, जुन हटाउन गाह्रो हुन्छ।
सापेक्षिक आर्द्रता जति बढी हुन्छ, आसंजन हटाउन त्यति नै गाह्रो हुन्छ। यद्यपि, जब सापेक्षिक आर्द्रता ३०% भन्दा कम हुन्छ, इलेक्ट्रोस्टेटिक बलको कार्यको कारणले कणहरू पनि सतहमा सजिलै सोसिन्छन्, र ठूलो संख्यामा अर्धचालक उपकरणहरू बिग्रने सम्भावना हुन्छ। सिलिकन वेफर उत्पादनको लागि इष्टतम तापमान दायरा ३५-४५% हो।
हावाको चापनियन्त्रणसफा कोठामा
धेरैजसो सफा ठाउँहरूको लागि, बाह्य प्रदूषणलाई आक्रमण गर्नबाट रोक्नको लागि, बाह्य चाप (स्थिर चाप) भन्दा आन्तरिक चाप (स्थिर चाप) उच्च राख्नु आवश्यक छ। दबाब भिन्नताको मर्मत सामान्यतया निम्न सिद्धान्तहरूको पालना गर्नुपर्छ:
१. सफा ठाउँहरूमा चाप सफा नभएको ठाउँहरूको भन्दा बढी हुनुपर्छ।
२. उच्च सरसफाई स्तर भएका ठाउँहरूमा चाप कम सरसफाई स्तर भएका छेउछाउका ठाउँहरूको तुलनामा बढी हुनुपर्छ।
३. सफा कोठाहरू बीचको ढोका उच्च सरसफाइ स्तर भएका कोठाहरू तर्फ खोल्नु पर्छ।
दबाब भिन्नताको मर्मत ताजा हावाको मात्रामा निर्भर गर्दछ, जसले यस दबाब भिन्नता अन्तर्गतको खाडलबाट हावा चुहावटको क्षतिपूर्ति गर्न सक्षम हुनुपर्छ। त्यसैले दबाब भिन्नताको भौतिक अर्थ सफा कोठामा विभिन्न खाडलहरूबाट चुहावट (वा घुसपैठ) हावा प्रवाहको प्रतिरोध हो।
पोस्ट समय: जुलाई-२१-२०२३