आईसी उत्पादन उद्योगमा चिप उत्पादन दर चिपमा जम्मा भएको हावा कणहरूको आकार र संख्यासँग नजिकको सम्बन्ध राख्छ। राम्रो वायुप्रवाह संगठनले धुलो स्रोतबाट उत्पन्न हुने कणहरूलाई सफा कोठाबाट टाढा लैजान सक्छ जसले सफा कोठाको सरसफाइ सुनिश्चित गर्दछ, अर्थात्, सफा कोठामा वायुप्रवाह संगठनले आईसी उत्पादनको उत्पादन दरमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। सफा कोठामा वायुप्रवाह संगठनको डिजाइनले निम्न लक्ष्यहरू प्राप्त गर्न आवश्यक छ: हानिकारक कणहरूको अवधारणबाट बच्न प्रवाह क्षेत्रमा एडी करेन्ट घटाउने वा हटाउने; क्रस प्रदूषण रोक्नको लागि उपयुक्त सकारात्मक दबाव ग्रेडियन्ट कायम राख्नुहोस्।
वायुप्रवाह बल
सफा कोठा सिद्धान्त अनुसार, कणहरूमा काम गर्ने बलहरूमा द्रव्यमान बल, आणविक बल, कणहरू बीचको आकर्षण, वायुप्रवाह बल, आदि समावेश छन्।
वायुप्रवाह बल: कणहरू बोक्न निश्चित प्रवाह दर भएको डेलिभरी, रिटर्न वायुप्रवाह, थर्मल संवहन वायुप्रवाह, कृत्रिम हलचल, र अन्य वायुप्रवाहहरूको कारणले हुने वायुप्रवाहको बललाई जनाउँछ। सफा कोठा वातावरणको प्राविधिक नियन्त्रणको लागि, वायुप्रवाह बल सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण कारक हो।
प्रयोगहरूले देखाएको छ कि वायुप्रवाह गतिमा, कणहरूले वायुप्रवाह गतिलाई लगभग समान गतिमा पछ्याउँछन्। हावामा कणहरूको अवस्था वायुप्रवाह वितरणद्वारा निर्धारण गरिन्छ। भित्री कणहरूलाई असर गर्ने वायुप्रवाहहरूमा मुख्यतया समावेश छन्: वायु आपूर्ति वायुप्रवाह (प्राथमिक वायुप्रवाह र माध्यमिक वायुप्रवाह सहित), वायुप्रवाह र मानिसहरू हिँड्दा हुने तापीय संवहन वायुप्रवाह, र प्रक्रिया सञ्चालन र औद्योगिक उपकरणहरूबाट हुने वायुप्रवाह। विभिन्न वायु आपूर्ति विधिहरू, गति इन्टरफेसहरू, अपरेटरहरू र औद्योगिक उपकरणहरू, र सफा कोठाहरूमा प्रेरित घटनाहरू सबै सफाई स्तरलाई असर गर्ने कारकहरू हुन्।
वायुप्रवाहको संगठनलाई असर गर्ने कारकहरू
१. हावा आपूर्ति विधिको प्रभाव
(१)। हावा आपूर्ति गति
एकरूप हावा प्रवाह सुनिश्चित गर्न, एकतर्फी सफा कोठामा हावा आपूर्ति गति एकरूप हुनुपर्छ; हावा आपूर्ति सतहको मृत क्षेत्र सानो हुनुपर्छ; र ULPA मा दबाब ड्रप पनि एकरूप हुनुपर्छ।
एकरूप हावा आपूर्ति गति: अर्थात्, वायुप्रवाहको असमानता ±२०% भित्र नियन्त्रण गरिन्छ।
हावा आपूर्ति सतहमा कम मृत क्षेत्र: ULPA फ्रेमको समतल क्षेत्र मात्र घटाउनु हुँदैन, तर अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, अनावश्यक फ्रेमलाई सरल बनाउन मोड्युलर FFU अपनाउनु पर्छ।
ठाडो एकदिशात्मक वायुप्रवाह सुनिश्चित गर्न, फिल्टरको दबाब ड्रप चयन पनि धेरै महत्त्वपूर्ण छ, जसले गर्दा फिल्टरमा दबाब हानि विचलित हुन सक्दैन।
(२)। FFU प्रणाली र अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली बीचको तुलना
FFU भनेको पंखा र फिल्टर (ULPA) भएको हावा आपूर्ति एकाइ हो। FFU को केन्द्रापसारक फ्यानले हावा सोसेपछि, गतिशील चापलाई वायु नलीमा स्थिर चापमा रूपान्तरण गरिन्छ र ULPA द्वारा समान रूपमा बाहिर निकालिन्छ। छतमा रहेको हावा आपूर्ति चाप नकारात्मक चाप हो, जसले गर्दा फिल्टर प्रतिस्थापन गर्दा सफा कोठामा कुनै पनि धुलो चुहिने छैन। प्रयोगहरूले देखाएको छ कि FFU प्रणाली हावा आउटलेट एकरूपता, वायुप्रवाह समानान्तरता र भेन्टिलेसन दक्षता सूचकांकको सन्दर्भमा अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली भन्दा उत्कृष्ट छ। यो किनभने FFU प्रणालीको वायुप्रवाह समानान्तरता राम्रो छ। FFU प्रणालीको प्रयोगले सफा कोठामा वायुप्रवाहलाई राम्रोसँग व्यवस्थित बनाउन सक्छ।
(३)। FFU को आफ्नै संरचनाको प्रभाव
FFU मुख्यतया पंखाहरू, फिल्टरहरू, वायुप्रवाह गाइड उपकरणहरू र अन्य कम्पोनेन्टहरू मिलेर बनेको हुन्छ। सफा कोठाले डिजाइनको आवश्यक सरसफाइ प्राप्त गर्न सक्छ कि सक्दैन भन्ने कुराको लागि अति-उच्च दक्षता फिल्टर ULPA सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण ग्यारेन्टी हो। फिल्टरको सामग्रीले प्रवाह क्षेत्रको एकरूपतालाई पनि असर गर्नेछ। जब फिल्टर आउटलेटमा मोटो फिल्टर सामग्री वा ल्यामिनार प्रवाह प्लेट थपिन्छ, आउटलेट प्रवाह क्षेत्र सजिलै एकरूप बनाउन सकिन्छ।
२. सरसफाइको विभिन्न गति इन्टरफेसहरूको प्रभाव
एउटै सफा कोठामा, ठाडो एकदिशात्मक प्रवाहको कार्य क्षेत्र र गैर-कार्य क्षेत्रको बीचमा, ULPA आउटलेटमा हावाको गतिमा भिन्नताको कारणले गर्दा, इन्टरफेसमा मिश्रित भोर्टेक्स प्रभाव उत्पन्न हुनेछ, र यो इन्टरफेस विशेष गरी उच्च वायु अशान्ति तीव्रताको साथ एक अशान्त वायु प्रवाह क्षेत्र बन्नेछ। कणहरू उपकरणको सतहमा प्रसारित हुन सक्छन् र उपकरण र वेफरहरूलाई दूषित गर्न सक्छन्।
३. कर्मचारी र उपकरणको प्रभाव
जब सफा कोठा खाली हुन्छ, कोठामा हावा प्रवाह विशेषताहरूले सामान्यतया डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछन्। एक पटक उपकरण सफा कोठामा प्रवेश गरेपछि, कर्मचारीहरू सर्छन् र उत्पादनहरू प्रसारित हुन्छन्, वायु प्रवाह संगठनमा अनिवार्य रूपमा अवरोधहरू हुनेछन्। उदाहरणका लागि, उपकरणको फैलिएको कुना वा किनारहरूमा, ग्यासलाई अशान्त क्षेत्र बनाउन मोडिनेछ, र क्षेत्रमा रहेको तरल पदार्थ ग्यासले सजिलैसँग बोक्दैन, जसले गर्दा प्रदूषण हुन्छ। एकै समयमा, निरन्तर सञ्चालनको कारण उपकरणको सतह तातो हुनेछ, र तापक्रम ढाँचाले मेसिनको नजिक रिफ्लो जोन निम्त्याउनेछ, जसले रिफ्लो जोनमा कणहरूको संचय बढाउनेछ। एकै समयमा, उच्च तापक्रमले कणहरूलाई सजिलै बाहिर निकाल्नेछ। दोहोरो प्रभावले समग्र ठाडो ल्यामिनार सफाई नियन्त्रण गर्ने कठिनाईलाई बढाउँछ। सफा कोठामा अपरेटरहरूबाट निस्कने धुलो यी रिफ्लो क्षेत्रहरूमा वेफरहरूमा टाँस्न धेरै सजिलो छ।
४. फिर्ता हावा भुइँको प्रभाव
जब भुइँबाट गुज्रने फिर्ता हावाको प्रतिरोध फरक हुन्छ, तब दबाब भिन्नता उत्पन्न हुन्छ, जसले गर्दा हावा कम प्रतिरोधको दिशामा बग्नेछ, र एकरूप हावा प्रवाह प्राप्त हुनेछैन। हालको लोकप्रिय डिजाइन विधि भनेको माथिल्लो भुइँहरू प्रयोग गर्नु हो। माथिल्लो भुइँहरूको खोल्ने दर १०% हुँदा, कोठाको काम गर्ने उचाइमा हावा प्रवाहको वेग समान रूपमा वितरण गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, भुइँको प्रदूषण स्रोत कम गर्न सफाई कार्यमा कडा ध्यान दिनुपर्छ।
५. प्रेरण घटना
तथाकथित इन्डक्सन घटनाले एकरूप प्रवाहको विपरीत दिशामा वायुप्रवाह उत्पन्न हुने घटनालाई जनाउँछ, र कोठामा उत्पन्न हुने धुलो वा छेउछाउको दूषित क्षेत्रको धुलो माथिल्लो हावातर्फ प्रेरित हुन्छ, जसले गर्दा धुलोले चिपलाई दूषित गर्न सक्छ। सम्भावित इन्डक्सन घटनाहरू निम्न छन्:
(१) ब्लाइन्ड प्लेट
ठाडो एकतर्फी प्रवाह भएको सफा कोठामा, भित्तामा भएका जोर्नीहरूका कारण, सामान्यतया ठूला ब्लाइन्ड प्लेटहरू हुन्छन् जसले स्थानीय फिर्ती प्रवाहमा अशान्ति उत्पन्न गर्दछ।
(२) बत्तीहरू
सफा कोठामा भएका प्रकाश फिक्स्चरहरूले बढी प्रभाव पार्नेछ। फ्लोरोसेन्ट बत्तीहरूको तापले हावा प्रवाह बढाउँछ, त्यसैले फ्लोरोसेन्ट बत्तीहरू मुनि कुनै अशान्त क्षेत्र हुनेछैन। सामान्यतया, सफा कोठामा भएका बत्तीहरू हावा प्रवाह संगठनमा बत्तीहरूको प्रभाव कम गर्न आँसुको थोपा आकारमा डिजाइन गरिन्छ।
(३.) भित्ताहरू बीचको खाडल
जब फरक सरसफाई स्तर भएका विभाजनहरू वा विभाजनहरू र छतहरू बीच खाडल हुन्छ, कम सरसफाई आवश्यकताहरू भएको क्षेत्रबाट धुलो उच्च सरसफाई आवश्यकताहरू भएको छेउछाउको क्षेत्रमा स्थानान्तरण गर्न सकिन्छ।
(४)। मेसिन र भुइँ वा भित्ता बीचको दूरी
यदि मेसिन र भुइँ वा भित्ता बीचको खाडल धेरै सानो छ भने, यसले रिबाउन्ड टर्बुलेन्स निम्त्याउँछ। त्यसकारण, उपकरण र भित्ता बीचको खाडल छोड्नुहोस् र मेसिनलाई सिधै जमिनमा नछुन दिनको लागि मेसिनलाई माथि उठाउनुहोस्।
पोस्ट समय: फेब्रुअरी-०५-२०२५