सफा कोठामा वायुप्रवाह संगठनलाई असर गर्ने कारकहरू के हुन्?

आईसी उत्पादन उद्योगमा चिप उत्पादन दर चिपमा जम्मा गरिएको हवाई कणहरूको संख्या र संख्यासँग नजिक छ। एक राम्रो एयरफ्लो संगठन द्वारा धुलो कोठा द्वारा उत्पन्न कणहरू लिन सक्दछ स्वैच्छ कोठाको सफाई सुनिश्चित गर्न सफा भूमिका सुनिश्चित गर्नुहोस् आईसी उत्पादन को उत्पादन दर मा एक महत्वपूर्ण भूमिका को सुनिश्चित गर्न। सफा कोठामा एयरफ्लो संगठन को डिजाइन निम्न लक्ष्यहरू प्राप्त गर्न आवश्यक छ: हानिकारक कणहरूको अवधारण गर्नबाट जोगिन प्रवाह क्षेत्र मा एड्डी हालको कम वा हटाउनुहोस्; क्रस दूषित रोक्न एक उपयुक्त सकारात्मक दबाव ढाँचा राख्नुहोस्।

वायुफ्लो बल

सफा कोठा सिद्धान्तका अनुसार, कणहरूमा अभिनय गर्ने सेनाहरूले कणहरू, आणविक बल, कणहरू, वायुप्रवाह बल, आदि बीचको आकर्षण समावेश गर्दछ।

एयरफ्लो बल: डेलिभरीले गर्दा एयरफ्लोको शक्तिलाई जनाउँछ, एयरफ्लोको शक्तिलाई फिर्ता, फर्काउने थर्मल कन्भलन्टिभ, र अन्य हवाई हलचल। सफा कोठा वातावरण को प्राविधिक नियन्त्रण को लागी, वायुफ्लो शक्ति सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण कारक हो।

प्रयोगहरूले देखाएको छ कि एयरफ्लो आन्दोलनमा, कणहरू लगभग समान गतिमा वायुप्रवाह आन्दोलनको अनुसरण गर्दछ। हावामा कणको राज्य वायुप्रवाह वितरण द्वारा निर्धारित गरिन्छ। एयरफ्लाहरू जसले इनडोर कणहरूलाई मुख्यतया समावेश गर्दछ: हवा आपूर्ति एयरफ्लो (प्राथमिक एयरप्रवाह र माध्यमिक एयरफ्लो), वा आन्तरिक उपकरणको कारण वायुप्रवाहको नियन्त्रण। बिभिन्न एयर आपूर्ति विधिहरू, गति ईन्टरफेस, अपरेटरहरू र औद्योगिक उपकरणहरू, र सफा कोठाहरूमा स peface ्ख्याको रूपमा घटनाहरू सबै कारकहरू हुन्।

एयरफ्लो संगठनलाई असर पार्ने कारकहरू

1 एयर आपूर्ति विधिको प्रभाव

(1)। एयर आपूर्ति गति

वर्दी हाईफ्लो सुनिश्चित गर्न, एयर आपूर्ति गति एक Undidercal स्वच्छ कोठा मा एकरूप हुनु पर्छ; एयर आपूर्ति सतहको मृत क्षेत्र सानो हुनुपर्दछ; र यूपीएममा दबाब ड्रप पनि वर्दी हुनुपर्दछ।

एक समान एयर आपूर्ति गति: त्यो हो, एयरसेलोको असमानता ± 20% भित्र नियन्त्रण गरिन्छ।

एयर आपूर्ति सतहमा कम मृत क्षेत्र: ULPPA फ्रेम को विमान क्षेत्र मात्र कम हुनु पर्छ, तर अधिक महत्त्वेपूर्ण फ्रेंडल फ्रेम सरल गर्न।

फिल्टरको दबाब ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप ड्रप छ।

(2)। FFU प्रणाली र अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली बीचको तुलना

FFU एक फ्यान र फिल्टर संग एक एयर आपूर्ति इकाई हो (ULPA)। एयर पछि एफएफयूको सेन्टिफुगल फ्यान द्वारा, गतिशील दबाव एयर टिक्टरमा स्थिर दबाबमा रूपान्तरण गरियो र ULPA द्वारा सहजै उडाइन्छ। छत सम्बन्धी एयरसाइड दबाब नकारात्मक दबाब हो, ताकि फिल्टर प्रतिस्थापन भएमा धूलो स्वेट कोठामा चुहावट हुन्छ। प्रयोगहरूले देखायो कि एफएफआई प्रणाली एयर प्वाल फ्यान फ्यान प्रणाली भन्दा उच्च छ, एयरफेल प्रवाह प्रशंसक प्रणालीको सर्तमा, एयरफ्लो समानान्तर र भेन्टिलेसन दक्षता अनुक्रमणिका। यो किनभने FFU प्रणालीको एयरफ्लो समानान्तर राम्रो छ। एफएफआई प्रणालीको प्रयोगले स्वच्छ कोठाको राम्रो आयोजना गरेको एयरफ्लो बनाउन सक्छ।

())। FFU आफ्नै संरचनाको प्रभाव

FFU is mainly composed of fans, filters, airflow guide devices and other components. अल्ट्रा-उच्च दक्षता फिल्टर यूएपा सफा कोठा सफा कोठा प्राप्त गर्न सक्दछ कि छैन भनेर सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण ग्यारेन्टी हो। फिल्टर को विषयवस्तु प्रवाह क्षेत्र को एकरूपता लाई पनि असर पार्नेछ। When a coarse filter material or a laminar flow plate is added to the filter outlet, the outlet flow field can be easily made uniform.

2। सफाईको विभिन्न गति इन्टरफेस को प्रभाव

उही सफा कोठामा, अल्पा आउटलेटमा हवाई गतिमा भिन्न मतदाता प्रवाहको कार्य क्षेत्र र गैर-काम गर्ने क्षेत्र बीच, एक मिश्रित वर्टेक्स प्रभाव इन्टरफेसमा उत्पन्न हुनेछ, र यो ईन्टरफेस एक अशान्त हुनेछ विशेष गरी उच्च एयर टर्सुलोजन तीव्रताको साथ एयर प्रवाह क्षेत्र। कणहरू उपकरणको सतहमा प्रसारित हुन सक्छ र उपकरणहरू दूषित हुन सक्छन् र वेफरहरू।

जब सफा कोठा खाली हुन्छ, कोठामा हावा प्रवाह विशेषताहरू सामान्यतया डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ। एक पटक उपकरण सफा कोठामा प्रवेश गरेपछि कर्मी सर्वर र उत्पादनहरू प्रसारित हुन्छन्, वायु प्रवाह संगठनलाई अनिवार्य रूपमा अवरोधहरू हुनेछन्। उदाहरण को लागी, उपकरणको फैलाउने कुनाहरु वा किनारहरु मा, ग्यास एक अशांत जोन बनाउन को लागी, र जोन मा तरल पदार्थ सजीलो को लागी सजीलो छैन। उहि समयमा, उपकरणको सतह निरन्तर अपरेशनको कारण तातो हुनेछ, र तापक्रम ढाकिएको तापमान क्षेत्रले मेसिनको नजिकबाट ताजा क्षेत्र बढाउनेछ, जसले रिफ्लो क्षेत्रको कणहरू बढाउनेछ। एकै साथ उच्च तापमानले कणहरू सजिलैबाट उम्कने निम्त्याउँदछ। दोहोरो प्रभावले समग्र ठाडो लामिनेर सफाई नियन्त्रणको कठिनाई बढाउँछ। स्वच्छ कोठामा अपरेटरबाट धूलो धेरै सहज हुन्छ यस रिफ्लो क्षेत्रहरूमा वाक्यांशहरू पालना गर्न।

। फर्वार्ड एयर फ्लोर को प्रभाव

जब भुइँमा जाने रिफ्लि are ्गको प्रतिरोध फरक छ, एक दबाब भिन्नता उत्पन्न हुनेछ, ताकि हावा कम प्रतिरोध, र एक समान वायुप्रवाहको दिशामा प्रवाह हुनेछ। हालको लोकप्रिय डिजाइन विधि उच्च फ्लोरहरू प्रयोग गर्ने हो। उन्नत भ्रमको ढोकाको लागि 10% छ, कोठाको कारीमा हवाइ रुटमा हवाई गन्ध पनि समान रूपमा वितरित गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, फ्लोरको प्रदूषण स्रोत कम गर्नको लागि कडा ध्यान तिर्नुपर्दछ।

।। संप्रेसन phenomenon

तथाकथित प्रेचर घटनाहरूले घटनालाई दर्शाउँछ कि वर्मिओमेननलाई जनाउँछ कि वायुको विपरीत दिशामा हावा प्रवाहको उत्पादन हुन्छ, र छेउछाउको दूरीमा फ्याँक्दछ, ताकि धुलो चिप दूषित गर्न सक्नुहुन्छ। निम्नलिखित प्रेरणा क्षेत्रहरू निम्न छन्:

(1)। आँखा प्लेट

ठाडो अनड्रेटेरेसनल प्रवाहको साथ सफा कोठामा, भित्तामा जोड्नेको कारण, सामान्यतया ठूला अन्धा प्लेटहरू हुन्छन् जसले स्थानीय फिर्ती प्रवाहमा अशान्तवाद उत्पन्न गर्दछ।

(2)। बग्गो

सफा कोठामा फ्ल्यासिंग फिक्स्चर धेरै प्रभाव पार्छ। फ्लोरस्तिहाडका बत्तीहरूको गर्मीले हावाप्रवाहको वृद्धि गर्दछ, फ्लोरोस्ट्स बत्तीहरूको मुनि कुनै पनि अतुलनीय क्षेत्र हुनेछैन। सामान्यतया, स्वच्छ, सफा कोठामा बत्तीहरू टेडरोटरको आकारमा डिजाइन गरिएको हुन्छ वायु प्रवाहको संस्थामा बत्तीहरू कम गर्न।

()) भित्ताहरू बीचको खाली ठाउँ

जब त्यहाँ विभाजनहरू बिभिन्न सरसफाई स्तर र विभाजनको साथ विभाजनहरू बीच खाली ठाउँहरू, कम सफाई आवश्यकताहरूको साथको क्षेत्र उच्च सरसफाइका आवश्यकताहरूसँगको धुलोमा हस्तान्तरण गर्न सकिन्छ।

())। मेशिन र भुइँ वा भित्ता बीच दूरी