सफा कोठामा हवाई प्रवाह संगठनको प्रभावकारी कारकहरू के हुन्?

चिप उत्पादन उद्योग मा चिप उत्पादन चिप मा को आकार र संख्या को संख्या संग चिप मा को आकार र संख्या संग सम्बन्धित छ। राम्रो हावा प्रवाह संगठनले सफा कोठाबाट टाढा धुलो स्रोतबाट उत्पन्न कणहरू लिन सक्दछ र सफारूकको सफाई सुनिश्चित गर्दछ। त्यो हो, सफारूममा हावा प्रवाह संगठनले चिप उत्पादितको उत्पादनमा महत्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। लक्ष्यहरू सफा कोठा एयर प्रवाह संगठनको डिजाइनमा प्राप्त गर्न को लागी: हानिकारक कणहरूको अवधारण गर्नबाट जोगिन प्रवाह फिक्समा EDDY नियन्त्रण कम गर्न वा हटाउन; क्रस-दूषित हुन एक उपयुक्त सकारात्मक दबाव ढाँचा कायम गर्न।

सफा कोठा सिद्धान्तका अनुसार, कणहरूमा अभिनयहरूले कणहरू, आणविक बल, कणहरू, वायु प्रवाह बल, आदि बीचको आकर्षण समावेश गर्दछ।

एयरफ्लो बल: आपूर्ति गरेर एयरफ्लो आपूर्ति गरेर एयरफ्लोको शक्तिलाई जनाउँछ, थर्मल कन्फेसर एयरफ्लो, कृत्रिम आन्दोलन, कणहरू बोक्नका लागि। सफा कोठा वातावरणीय टेक्नोलोजी नियन्त्रणको लागि, वायु प्रवाह बल सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण कारक हो।

प्रयोगहरू देखाइएको छ कि वायुप्रवाह आन्दोलनमा, कणहरू लगभग उस्तै गतिमा एयरफ्लो अनुसरण गर्दछ। हावामा कणको अवस्था वायुप्रसालो वितरण द्वारा निर्धारित गरिन्छ। इनडोर कणहरूमा एयरफ्लोको मुख्य प्रभावहरू समावेश गर्दछ: एयर-आपूर्ति एयरफ्लो (प्राथमिक एयरफ्लो एयरफ्लो), र प्रक्रिया संचालन र औद्योगिक उपकरणहरूको कारणले एयरफ्लोको प्रभाव। बिभिन्न एयर आपूर्ति विधिहरू, अपरेटर इन्टरफेस, अपरेटरहरू र औद्योगिक उपकरणहरू, सफारूक स्तरमा प्रभाव पार्ने घटनाहरू छन् जसले सफाई तहमा असर गर्दछ।

1 एयर आपूर्ति विधिको प्रभाव

(1) एयर आपूर्ति गति

समान हावाको प्रवाह सुनिश्चित गर्नको लागि, युनिडरेसनल प्रवाह सफा कोठाको एयर आपूर्ति गति समान हुनुपर्दछ; एयर आपूर्ति सतहमा मृत क्षेत्र सानो हुनुपर्दछ; हो, हेपरको दबाब ड्रप पनि समान हुनु पर्छ।

एयर आपूर्ति गति गणवेश छ: त्यो हो, वायु प्रवाहको असमानता ± 20% भित्र नियन्त्रण गरिन्छ।

त्यहाँ एयर आपूर्ति सतहमा कम मरेको ठाउँ छ: हेपा फ्रेम को विमान क्षेत्र मात्र कम गर्नुपर्दैन, तर अधिक महत्त्वपूर्ण, रूपान्तरण भौतिक ffu सरल फ्रेम सरल बनाउन प्रयोग गरिनु पर्छ।

फिल्टर प्रवाह ठाडो र unidrational छ भन्ने सुनिश्चित गर्नका लागि, फिल्टरको दबाब ड्रप ड्रप गरिएको छ, दबाब ड्रप गरिएको छ। फिल्टर बाहिरको दबाब घाटा पनि बिहानको लागि आवश्यक पर्दैन।

(2) FFU प्रणाली र अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली बीच तुलना

FFU एक फ्यान र हेपा फिल्टर संग एक हावा आपूर्ति इकाई हो। एयर एफएफयूको सेन्ट्रीफुगल फ्यानले गतिशील फ्यान द्वारा चकित पारिएको छ र गतिशील दबाव एयर नम्बरमा स्थिर दबावमा रूपान्तरण गर्दछ। यो सायद हेपा फिल्टर द्वारा बाहिर निकालियो। छतमा आपूर्ति दबाब नकारात्मक दबाव हो। यस तरीकाले धूलो सफा कोठामा लीक हुँदैन। फिल्टर प्रतिस्थापन गर्दा। प्रयोगहरूले देखाएको छ कि एफएफआई प्रणाली एयरसियल प्रवाह फ्यान प्रणाली भन्दा उच्च छ, हवाई आउटलेटको एकरूपता, एयर प्रवाह समानान्तर र भेन्टिलेसन क्षमताको अनुक्रमणिका। यो किनभने एफएफयू प्रणालीको हवाई स्पेरीलिज्म राम्रो छ। एफएफआई प्रणालीको प्रयोगले स्वच्छ कोठामा वायु प्रवाह संगठन सुधार गर्न सक्दछ।

()) FFU आफ्नै संरचनाको प्रभाव

FFU मुख्यतया फ्यान, फिल्टरहरू, एयर प्रवाह गाईड र अन्य कम्पोनेन्टहरू मिलेर बनेको हुन्छ। हीपा फिल्टर डिजाइन द्वारा आवश्यक उन्मूलन प्राप्त गर्न सफा कोठाको लागि सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण ग्यारेन्टी हो। फिल्टर को विषयवस्तु प्रवाह क्षेत्र को एकरूपता लाई पनि असर पार्नेछ। जब एक न कुनै फिल्टर सामग्री वा प्रवाह प्लेट फिल्टर आउटलेटमा थपियो, आउटलेट प्रवाह क्षेत्र सजिलैसँग वर्दी बनाउँदछ।

2। बिभिन्न सरसफाइको साथ स्पीड इन्टरफेस को प्रभाव

उही सफा कोठामा, वर्पादिक प्रवाहको साथ, ठाडो अनपेक्षित क्षेत्र बीच लुपाचेक्समा भिन्न भिन्नताका कारण, एक मिश्रित वर्टेक्स प्रभाव इन्टरफेसमा हुन्छ, र यो इन्टरफेस एक अशान्त हुनेछ एयरफ्लो क्षेत्र। विशेष गरी हार्कोको गहनता विशेष रूपमा बलियो हुन्छ, र कणहरू उपकरण मेशिनहरूको सतहमा प्रसारित हुन्छन् र उपकरणहरू दूषित पदार्थ र वेफरहरू।

। कर्मचारी र उपकरणमा प्रभाव

जब सफा कोठा खाली हुन्छ, कोठामा हावा प्रवाह विशेषताहरू सामान्यतया डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ। एक पटक उपकरणहरू सफारूक्षमा प्रवेश गर्ने, मानिसहरू सर्छन्, र उत्पादनहरू ढुवानी गरिन्छ, उपकरण मेशिनको रूपमा स्टार्ज गर्न अनिवार्य रूपमा अवरोधहरू छन्। कुना वा किनारमा, ग्यासले एक अशांत प्रवाह क्षेत्र गठन गर्नमा डाईभेट गर्दछ, र क्षेत्रमा तरल पदार्थ आगमन ग्यासबाट सजीलो हुँदैन, यसैले प्रदूषणको कारण।

एकै साथ निरन्तर अपरेशनको कारण यांत्रिक उपकरणको सतह तातो हुनेछ, र तापक्रम ढाकिएको तापमान ग्रेशियन्टले मेसिनको नजिकबाट ताजा क्षेत्र बढाउनेछ, जसले ताजा क्षेत्रमा कणहरूको संचय बढाउँदछ। एकै साथ उच्च तापमानले कणहरू सजिलैबाट उम्कने निम्त्याउँदछ। दोहोरो प्रभावले समग्र ठाडो तह झल्काउँछ। धारा सफाई नियन्त्रण गर्न कठिनाई। सफा कोठामा अपरेटरहरूबाट धुलोले सजिलै यी रिफ्लो क्षेत्रहरूमा वेफरहरूको पालना गर्न सक्दछ।

। फर्वार्ड एयर फ्लोर को प्रभाव

जब भुइँमा बग्ने फिर्ती हावाको प्रतिरोध फरक छ, दबाब भिन्नता हुन्छ, सानो प्रतिरोध, र एक समान वायु प्रवाहको दिशामा हावा प्रवाह हुनेछैन। वर्तमान लोकप्रिय डिजाइन विधि एक उच्च फ्लोर प्रयोग गर्नु हो। उन्नत फ्लोरको उद्घाटन अनुपात 10% मा छ, हावा प्रवाह वेग समान रूपमा इनडोर काम गर्ने उचाईमा वितरित गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, कडा ध्यान भुइँमा प्रदूषणको स्रोत कम गर्न कडा ध्यान दिइनु पर्दछ।

।। संप्रेसन phenomenon

तथाकथित प्रेशन फेनोमेसनले एक समान प्रवाहको विपरीत दिशामा एयरफोलोनलाई बुझाउँदछ जुन माथिल्लो प्रवाहमा एयरफोलोलाई सम्पादन गर्दछ, कोठा वा धुलोले वेफरलाई दूषित पार्नको लागि। सम्भावित plahred phenomena निम्न समावेश गर्नुहोस्:

(1) अन्धा प्लेट

ठाडो एक-मार्ग प्रवाहको साथ सफा कोठामा, भित्तामा जोड्नेको कारण, सामान्यतया ठूलो अन्धा प्यानलहरू हुन्छन् जसले टर्राल प्रवाह र स्थानीय ब्याकफ्लो उत्पादन गर्दछ।

(2) बत्तीहरू

सफा कोठामा प्रकाश फिक्स्चर धेरै प्रभाव पार्छ। फ्लोरियड्रीगत बत्तीको त्राले हावाप्रवाहलाई उदय हुन दिन्छ, फ्लोरिन्डेन्ट बत्तीहरू एक अशान्तिपूर्ण क्षेत्र बन्न सक्दैन। सामान्यतया, सफा कोठाका बत्तीहरू तेर्सोग्रामा डिजाइन गरिएको एयरफ्लो संगठनका बत्तीहरूको प्रभाव कम गर्न आउँदछ।

()) भित्ताहरू बीचको खाली ठाउँ

जब विभाजन भित्ताहरू वा किसिमका विभिन्न सरसफाइ आवश्यकताहरूको साथसाथै, कम सफाईको आवश्यकताहरूको साथमा कम सरसफाइका आवश्यकताहरू बीचको धुलो उच्च सफाई आवश्यकताहरूसँग हस्तान्तरण गर्न सकिन्छ।

()) मेकानिकल उपकरण र फ्लोर वा भित्ता बीचको दूरी

यदि मेकानिकल उपकरणहरू र भुइँ वा भित्ता बीचको अन्तर सानो, रिबाउन्ड अशान्ति हुन्छ। तसर्थ, उपकरण र भित्ता बीचको एक अन्तर छोड्नुहोस् र भूमिको साथ प्रत्यक्ष सम्पर्कबाट बच्न मेशिन प्लेटफर्म उठाउँनुहोस्।