चिप उत्पादन उद्योगमा चिपको उत्पादन चिपमा जम्मा भएका हावा कणहरूको आकार र संख्यासँग नजिकबाट सम्बन्धित छ। राम्रो हावा प्रवाह संगठनले धुलो स्रोतहरूबाट उत्पन्न कणहरूलाई सफा कोठाबाट टाढा लैजान सक्छ र सफा कोठाको सरसफाइ सुनिश्चित गर्न सक्छ। अर्थात्, सफा कोठामा हावा प्रवाह संगठनले चिप उत्पादनको उत्पादनमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। सफा कोठा वायु प्रवाह संगठनको डिजाइनमा प्राप्त गर्नुपर्ने लक्ष्यहरू हुन्: हानिकारक कणहरूको अवधारणबाट बच्न प्रवाह क्षेत्रमा एडी धाराहरू कम गर्ने वा हटाउने; क्रस-दूषितता रोक्नको लागि उपयुक्त सकारात्मक दबाव ढाँचा कायम राख्ने।
सफा कोठा सिद्धान्त अनुसार, कणहरूमा काम गर्ने बलहरूमा द्रव्यमान बल, आणविक बल, कणहरू बीचको आकर्षण, वायु प्रवाह बल, आदि समावेश छन्।
वायुप्रवाह बल: आपूर्ति र फिर्ता वायुप्रवाह, थर्मल संवहन वायुप्रवाह, कृत्रिम आन्दोलन, र कणहरू बोक्न निश्चित प्रवाह दर भएका अन्य वायुप्रवाहहरूबाट हुने वायुप्रवाहको बललाई जनाउँछ। सफा कोठा वातावरणीय प्रविधि नियन्त्रणको लागि, वायुप्रवाह बल सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण कारक हो।
प्रयोगहरूले देखाएको छ कि वायुप्रवाहको गतिमा, कणहरूले वायुप्रवाहलाई लगभग उस्तै गतिमा पछ्याउँछन्। हावामा कणहरूको अवस्था वायुप्रवाह वितरणद्वारा निर्धारण गरिन्छ। भित्री कणहरूमा वायुप्रवाहको मुख्य प्रभावहरूमा समावेश छन्: वायु आपूर्ति वायुप्रवाह (प्राथमिक वायुप्रवाह र माध्यमिक वायुप्रवाह सहित), वायुप्रवाह र मानिसहरू हिँड्दा हुने तापीय संवहन वायुप्रवाह, र प्रक्रिया सञ्चालन र औद्योगिक उपकरणहरूबाट हुने कणहरूमा वायुप्रवाहको प्रभाव। सफा कोठाहरूमा विभिन्न वायु आपूर्ति विधिहरू, गति इन्टरफेसहरू, अपरेटरहरू र औद्योगिक उपकरणहरू, प्रेरित घटनाहरू, आदि सबै कारकहरू हुन् जसले सफाई स्तरलाई असर गर्छ।
१. हावा आपूर्ति विधिको प्रभाव
(१) हावा आपूर्ति गति
एकरूप हावा प्रवाह सुनिश्चित गर्न, एकतर्फी प्रवाह सफा कोठामा हावा आपूर्ति गति एकरूप हुनुपर्छ; हावा आपूर्ति सतहमा मृत क्षेत्र सानो हुनुपर्छ; र हेपा फिल्टर भित्रको दबाब ड्रप पनि एकरूप हुनुपर्छ।
हावा आपूर्ति गति एकरूप छ: अर्थात्, हावा प्रवाहको असमानता ±२०% भित्र नियन्त्रण गरिन्छ।
हावा आपूर्ति सतहमा कम मृत ठाउँ छ: हेपा फ्रेमको समतल क्षेत्रफल मात्र घटाउनु हुँदैन, तर अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, अनावश्यक फ्रेमलाई सरल बनाउन मोड्युलर FFU प्रयोग गर्नुपर्छ।
हावाको प्रवाह ठाडो र एकदिशात्मक छ भनी सुनिश्चित गर्न, फिल्टरको दबाब ड्रप चयन पनि धेरै महत्त्वपूर्ण छ, र फिल्टर भित्रको दबाब हानि पक्षपाती हुन सक्दैन भन्ने कुरा आवश्यक छ।
(२) FFU प्रणाली र अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली बीचको तुलना
FFU भनेको पंखा र हेपा फिल्टर भएको हावा आपूर्ति इकाई हो। FFU को केन्द्रापसारक फ्यानले हावालाई भित्र तान्छ र हावा नलीमा गतिशील चापलाई स्थिर चापमा रूपान्तरण गर्छ। यसलाई हेपा फिल्टरद्वारा समान रूपमा बाहिर निकालिन्छ। छतमा हावा आपूर्ति चाप नकारात्मक चाप हो। यसरी फिल्टर प्रतिस्थापन गर्दा सफा कोठामा कुनै पनि धुलो चुहिने छैन। प्रयोगहरूले देखाएको छ कि FFU प्रणाली हावा आउटलेट एकरूपता, हावा प्रवाह समानान्तरता र भेन्टिलेसन दक्षता सूचकांकको सन्दर्भमा अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली भन्दा उत्कृष्ट छ। यो किनभने FFU प्रणालीको हावा प्रवाह समानान्तरता राम्रो छ। FFU प्रणालीको प्रयोगले सफा कोठामा हावा प्रवाह संगठन सुधार गर्न सक्छ।
(३) FFU को आफ्नै संरचनाको प्रभाव
FFU मुख्यतया पंखा, फिल्टर, वायु प्रवाह गाइड र अन्य घटकहरू मिलेर बनेको हुन्छ। डिजाइनद्वारा आवश्यक पर्ने आवश्यक सरसफाइ प्राप्त गर्न सफा कोठाको लागि हेपा फिल्टर सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण ग्यारेन्टी हो। फिल्टरको सामग्रीले प्रवाह क्षेत्रको एकरूपतालाई पनि असर गर्नेछ। फिल्टर आउटलेटमा कुनै नराम्रो फिल्टर सामग्री वा प्रवाह प्लेट थप्दा, आउटलेट प्रवाह क्षेत्र सजिलै एकरूप बनाउन सकिन्छ।
२. फरक सफाईको साथ गति इन्टरफेसको प्रभाव
एउटै सफा कोठामा, ठाडो एकदिशात्मक प्रवाह भएको कार्य क्षेत्र र गैर-कार्य क्षेत्रको बीचमा, हेपा बक्समा हावाको गतिमा भिन्नताको कारणले गर्दा, इन्टरफेसमा मिश्रित भोर्टेक्स प्रभाव देखा पर्नेछ, र यो इन्टरफेस एक अशान्त वायुप्रवाह क्षेत्र बन्नेछ। वायु अशान्तिको तीव्रता विशेष गरी बलियो हुन्छ, र कणहरू उपकरण मेसिनको सतहमा प्रसारित हुन सक्छन् र उपकरण र वेफरहरूलाई दूषित गर्न सक्छन्।
३. कर्मचारी र उपकरणमा पर्ने प्रभाव
सफा कोठा खाली हुँदा, कोठामा हावा प्रवाह विशेषताहरूले सामान्यतया डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछन्। एक पटक उपकरणहरू सफा कोठामा प्रवेश गरेपछि, मानिसहरू सर्छन्, र उत्पादनहरू ढुवानी गरिन्छ, वायु प्रवाह संगठनमा अनिवार्य रूपमा अवरोधहरू हुन्छन्, जस्तै उपकरण मेसिनबाट बाहिर निस्कने तीखा बिन्दुहरू। कुना वा किनारहरूमा, ग्यास एक अशान्त प्रवाह क्षेत्र बनाउन मोडिनेछ, र क्षेत्रको तरल पदार्थ आगमन ग्यासले सजिलैसँग बोक्नेछैन, जसले गर्दा प्रदूषण हुन्छ।
एकै समयमा, निरन्तर सञ्चालनको कारणले गर्दा मेकानिकल उपकरणको सतह तातो हुनेछ, र तापक्रम ढाँचाले मेसिनको नजिकै रिफ्लो क्षेत्र निम्त्याउनेछ, जसले रिफ्लो क्षेत्रमा कणहरूको संचय बढाउँछ। साथै, उच्च तापक्रमले कणहरूलाई सजिलै बाहिर निकाल्नेछ। दोहोरो प्रभावले समग्र ठाडो तहलाई तीव्र बनाउँछ। स्ट्रिम सफाई नियन्त्रण गर्न कठिनाई। सफा कोठामा अपरेटरहरूबाट आउने धुलो यी रिफ्लो क्षेत्रहरूमा वेफरहरूमा सजिलै टाँसिन सक्छ।
४. फिर्ता हावा भुइँको प्रभाव
जब भुइँबाट गुज्रने फिर्ती हावाको प्रतिरोध फरक हुन्छ, दबाब भिन्नता हुन्छ, जसले गर्दा हावा सानो प्रतिरोधको दिशामा बग्छ, र एकरूप हावा प्रवाह प्राप्त हुँदैन। हालको लोकप्रिय डिजाइन विधि भनेको माथिल्लो भुइँ प्रयोग गर्नु हो। माथिल्लो भुइँको खोल्ने अनुपात १०% मा हुँदा, भित्री काम गर्ने उचाइमा हावा प्रवाहको वेग समान रूपमा वितरण गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, भुइँमा प्रदूषणको स्रोत कम गर्न सफाई कार्यमा कडा ध्यान दिनुपर्छ।
५. प्रेरण घटना
तथाकथित प्रेरण घटनाले समान प्रवाहको विपरीत दिशामा वायुप्रवाह उत्पन्न गर्ने घटनालाई जनाउँछ, जसले कोठामा उत्पन्न हुने धुलो वा छेउछाउका दूषित क्षेत्रहरूमा रहेको धुलोलाई माथिल्लो हावामा उत्प्रेरित गर्छ, जसले गर्दा धुलोले वेफरलाई दूषित बनाउँछ। सम्भावित प्रेरित घटनाहरूमा निम्न समावेश छन्:
(१) ब्लाइन्ड प्लेट
ठाडो एकतर्फी प्रवाह भएको सफा कोठामा, भित्तामा भएका जोर्नीहरूका कारण, सामान्यतया ठूला ब्लाइन्ड प्यानलहरू हुन्छन् जसले अशान्त प्रवाह र स्थानीय ब्याकफ्लो उत्पादन गर्दछ।
(२) बत्तीहरू
सफा कोठामा बत्ती जडान गर्ने फिक्स्चरले बढी प्रभाव पार्नेछ। फ्लोरोसेन्ट बत्तीको तापले हावा प्रवाह बढाउँछ, त्यसैले फ्लोरोसेन्ट बत्ती अशान्त क्षेत्र बन्दैन। सामान्यतया, सफा कोठामा बत्तीहरू हावा प्रवाह संगठनमा बत्तीहरूको प्रभाव कम गर्न आँसुको थोपा आकारमा डिजाइन गरिन्छ।
(३) भित्ताहरू बीचको खाडल
जब विभाजन भित्ता वा छतहरू बीच फरक सरसफाइ आवश्यकताहरू हुन्छन्, कम सरसफाइ आवश्यकताहरू भएका क्षेत्रहरूबाट धुलो उच्च सरसफाइ आवश्यकताहरू भएका छेउछाउका क्षेत्रहरूमा स्थानान्तरण गर्न सकिन्छ।
(४) मेकानिकल उपकरण र भुइँ वा भित्ता बीचको दूरी
यदि मेकानिकल उपकरण र भुइँ वा भित्ता बीचको खाडल सानो छ भने, रिबाउन्ड टर्बुलेन्स हुनेछ। त्यसकारण, उपकरण र भित्ता बीचको खाडल छोड्नुहोस् र जमिनसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कबाट बच्न मेसिन प्लेटफर्म माथि उठाउनुहोस्।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-०२-२०२३