सफा कोठामा हावा प्रवाह संगठनको प्रभावकारी कारकहरू के हुन्?

चिप उत्पादन उद्योगमा चिप उत्पादन चिपमा जम्मा हुने वायु कणहरूको आकार र संख्यासँग नजिकको सम्बन्ध छ। राम्रो वायु प्रवाह संगठनले धुलोको स्रोतबाट उत्पन्न कणहरू सफा कोठाबाट टाढा लैजान सक्छ र क्लीनरूमको सरसफाइ सुनिश्चित गर्न सक्छ। त्यो हो, क्लीनरूममा वायु प्रवाह संगठनले चिप उत्पादनको उपजमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। सफा कोठाको हावा प्रवाह संगठनको डिजाइनमा हासिल गरिने लक्ष्यहरू निम्न हुन्: हानिकारक कणहरूको अवधारणबाट बच्नको लागि प्रवाह क्षेत्रमा एडी धाराहरू कम गर्न वा हटाउन; क्रस-प्रदूषण रोक्नको लागि उपयुक्त सकारात्मक दबाव ढाँचा कायम राख्न।

सफा कोठा सिद्धान्त अनुसार कणहरूमा कार्य गर्ने बलहरूमा जन बल, आणविक बल, कणहरू बीचको आकर्षण, वायु प्रवाह बल, आदि पर्दछन्।

वायुप्रवाह बल: आपूर्ति र फिर्ता वायु प्रवाह, थर्मल संवहन वायुप्रवाह, कृत्रिम आन्दोलन, र कणहरू बोक्न निश्चित प्रवाह दरको साथ अन्य वायुप्रवाहको कारण वायुप्रवाहको बललाई जनाउँछ। सफा कोठा वातावरणीय प्रविधि नियन्त्रणको लागि, वायु प्रवाह बल सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण कारक हो।

प्रयोगहरूले देखाएका छन् कि वायुप्रवाह गतिमा, कणहरूले लगभग ठ्याक्कै उही गतिमा वायुप्रवाहलाई पछ्याउँछन्। हावामा कणहरूको अवस्था वायु प्रवाह वितरण द्वारा निर्धारण गरिन्छ। इनडोर कणहरूमा वायुप्रवाहको मुख्य प्रभावहरू समावेश छन्: वायु आपूर्ति वायुप्रवाह (प्राथमिक वायुप्रवाह र माध्यमिक वायुप्रवाह सहित), वायुप्रवाह र थर्मल संवहन वायुप्रवाह मानिसहरू हिड्ने कारणले गर्दा, र प्रक्रिया सञ्चालन र औद्योगिक उपकरणहरूले गर्दा कणहरूमा वायुप्रवाहको प्रभाव। विभिन्न हावा आपूर्ति विधिहरू, गति इन्टरफेसहरू, अपरेटरहरू र औद्योगिक उपकरणहरू, क्लीनरूमहरूमा प्रेरित घटनाहरू, आदि सबै कारकहरू हुन् जसले सरसफाइ स्तरलाई असर गर्छ।

1. हावा आपूर्ति विधि को प्रभाव

(1) हावा आपूर्ति गति

एकसमान हावा प्रवाह सुनिश्चित गर्न को लागी, एक दिशात्मक प्रवाह सफा कोठा मा हावा आपूर्ति गति एक समान हुनुपर्छ; हावा आपूर्ति सतह मा मृत क्षेत्र सानो हुनुपर्छ; र हेपा फिल्टर भित्रको दबाव ड्रप पनि समान हुनुपर्छ।

हावा आपूर्ति गति समान छ: त्यो हो, हावा प्रवाह को असमानता ± 20% भित्र नियन्त्रण गरिन्छ।

हावा आपूर्ति सतहमा कम डेड स्पेस छ: हेपा फ्रेमको प्लेन एरिया मात्र घटाउनु हुँदैन, तर अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, अनावश्यक फ्रेमलाई सरल बनाउन मोड्युलर FFU प्रयोग गर्नुपर्छ।

हावा प्रवाह ठाडो र दिशाहीन छ भनेर सुनिश्चित गर्न, फिल्टरको दबाव ड्रप चयन पनि धेरै महत्त्वपूर्ण छ, र यो आवश्यक छ कि फिल्टर भित्र दबाव हानि पक्षपाती हुन सक्दैन।

(2) FFU प्रणाली र अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली बीच तुलना

FFU फ्यान र हेपा फिल्टर भएको हावा आपूर्ति इकाई हो। FFU को केन्द्रापसारक फ्यानले हावा चुस्छ र हावा नलीमा गतिशील दबाबलाई स्थिर दबावमा रूपान्तरण गर्छ। यो हेपा फिल्टर द्वारा समान रूपमा उडाइएको छ। छत मा हावा आपूर्ति दबाव नकारात्मक दबाव छ। यसरी फिल्टर प्रतिस्थापन गर्दा धुलो सफा कोठामा चुहिने छैन। प्रयोगहरूले देखाएको छ कि FFU प्रणाली हावा आउटलेट एकरूपता, वायु प्रवाह समानान्तर र भेन्टिलेशन दक्षता सूचकांकको सन्दर्भमा अक्षीय प्रवाह फ्यान प्रणाली भन्दा उच्च छ। यो किनभने FFU प्रणालीको हावा प्रवाह समानान्तर राम्रो छ। FFU प्रणालीको प्रयोगले सफा कोठामा हावा प्रवाह संगठन सुधार गर्न सक्छ।

(3) FFU को आफ्नै संरचना को प्रभाव

FFU मुख्यतया फ्यान, फिल्टर, हावा प्रवाह गाइड र अन्य कम्पोनेन्टहरू मिलेर बनेको हुन्छ। हेपा फिल्टर डिजाइन द्वारा आवश्यक आवश्यक सफाई प्राप्त गर्न को लागी सफा कोठा को लागी सबै भन्दा महत्वपूर्ण ग्यारेन्टी हो। फिल्टरको सामग्रीले प्रवाह क्षेत्रको एकरूपतालाई पनि असर गर्नेछ। जब फिल्टर आउटलेटमा कुनै नराम्रो फिल्टर सामग्री वा फ्लो प्लेट थपिन्छ, आउटलेट प्रवाह क्षेत्र सजिलैसँग समान बनाउन सकिन्छ।

2. विभिन्न सरसफाई संग गति इन्टरफेस को प्रभाव

एउटै सफा कोठामा, काम गर्ने क्षेत्र र ठाडो दिशाहीन प्रवाह भएको गैर-कार्य क्षेत्रको बीचमा, हेपा बक्समा हावाको गतिमा भिन्नताका कारण, इन्टरफेसमा मिश्रित भोर्टेक्स प्रभाव देखा पर्नेछ, र यो इन्टरफेस एक अशान्तिपूर्ण हुनेछ। वायु प्रवाह क्षेत्र। एयर टर्ब्युलेन्सको तीव्रता विशेष गरी बलियो छ, र कणहरू उपकरण मेसिनको सतहमा प्रसारित हुन सक्छ र उपकरण र वेफरहरू दूषित हुन सक्छ।

3. कर्मचारी र उपकरणमा प्रभाव

जब सफा कोठा खाली हुन्छ, कोठामा हावा प्रवाह विशेषताहरू सामान्यतया डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ। एकपटक उपकरणहरू क्लिनरूममा प्रवेश गरेपछि, मानिसहरू सर्छन्, र उत्पादनहरू ढुवानी हुन्छन्, त्यहाँ अनिवार्य रूपमा हावा प्रवाह संगठनमा अवरोधहरू हुन्छन्, जस्तै उपकरण मेसिनबाट तीखो बिन्दुहरू निस्कने। कुना वा किनारहरूमा, ग्यास एक अशान्तिपूर्ण प्रवाह क्षेत्र बनाउनको लागि डाइभर्ट हुनेछ, र यस क्षेत्रमा तरल पदार्थ आगमन ग्याँस द्वारा सजिलै बाहिर लैजान सक्दैन, यसरी प्रदूषण निम्त्याउँछ।

एकै समयमा, मेकानिकल उपकरणको सतह निरन्तर सञ्चालनको कारण तातो हुनेछ, र तापमान ढाँचाले मेसिनको नजिक रिफ्लो क्षेत्र निम्त्याउनेछ, जसले रिफ्लो क्षेत्रमा कणहरूको संचय बढाउँछ। एकै समयमा, उच्च तापमानले कणहरू सजिलै बाहिर निस्कन सक्छ। दोहोरो प्रभावले समग्र ठाडो तहलाई तीव्र बनाउँछ। धाराको सरसफाई नियन्त्रण गर्न कठिनाई। सफा कोठामा अपरेटरहरूको धुलो सजिलैसँग यी रिफ्लो क्षेत्रहरूमा वेफरहरूमा टाँस्न सक्छ।

4. रिटर्न एयर फ्लोर को प्रभाव

जब भुइँबाट गुजरने रिटर्न हावाको प्रतिरोध फरक हुन्छ, दबाव भिन्नता देखा पर्दछ, जसले गर्दा हावा सानो प्रतिरोधको दिशामा बग्छ, र समान हावा प्रवाह प्राप्त हुँदैन। हालको लोकप्रिय डिजाइन विधि भनेको माथिल्लो तल्ला प्रयोग गर्नु हो। जब एलिभेटेड फ्लोरको उद्घाटन अनुपात 10% मा हुन्छ, हावा प्रवाह वेगलाई भित्री काम गर्ने उचाइमा समान रूपमा वितरण गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, भुइँमा प्रदूषणको स्रोत कम गर्न सफाई कार्यमा कडा ध्यान दिनु पर्छ।

5. प्रेरण घटना

तथाकथित इन्डक्शन घटनाले एकसमान प्रवाहको विपरीत दिशामा हावा प्रवाह उत्पन्न गर्ने घटनालाई बुझाउँछ, कोठामा उत्पन्न हुने धुलो वा छेउछाउको दूषित क्षेत्रहरूमा धुलोलाई अपविन्ड साइडमा उत्प्रेरित गर्दछ, जसले गर्दा धुलोले वेफरलाई दूषित गर्दछ। सम्भावित प्रेरित घटनाहरू निम्न समावेश छन्:

(१) ब्लाइन्ड प्लेट

ठाडो एकतर्फी प्रवाह भएको सफा कोठामा, भित्तामा जोडिएका कारण, त्यहाँ सामान्यतया ठूला ब्लाइन्ड प्यानलहरू हुन्छन् जसले अशान्त प्रवाह र स्थानीय ब्याकफ्लो उत्पादन गर्दछ।

(२) बत्ती

सफा कोठामा प्रकाश फिक्स्चरले ठूलो प्रभाव पार्नेछ। फ्लोरोसेन्ट बत्तीको तातोले हावाको प्रवाह बढाउने कारणले, फ्लोरोसेन्ट बत्ती अशान्त क्षेत्र बन्ने छैन। सामान्यतया, सफा कोठामा बत्तीहरू हावा प्रवाह संगठनमा बत्तीहरूको प्रभावलाई कम गर्न टियरड्रप आकारमा डिजाइन गरिन्छ।

(3) पर्खालहरू बीचको खाडलहरू

जब विभाजन भित्ताहरू वा छतहरू बीच फरक सरसफाई आवश्यकताहरू छन्, कम सरसफाइ आवश्यकताहरू भएका क्षेत्रहरूबाट धुलो उच्च सरसफाइ आवश्यकताहरू भएका छेउछाउका क्षेत्रहरूमा स्थानान्तरण गर्न सकिन्छ।

(4) मेकानिकल उपकरण र भुइँ वा पर्खाल बीचको दूरी

यदि मेकानिकल उपकरण र भुइँ वा पर्खाल बीचको अन्तर सानो छ भने, रिबाउन्ड टर्ब्युलेन्स हुनेछ। तसर्थ, उपकरण र पर्खाल बीचको खाडल छोड्नुहोस् र जमिनसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कबाट बच्न मेसिन प्लेटफर्म उठाउनुहोस्।